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2016-2022年中国电子工程用高纯硅烷行业分析及发展前景分析报告

字体大小：大中小2016-06-29 中国产业研究报告网 http://www.chinairr.org

【报告名称】2016-2022年中国电子工程用高纯硅烷行业分析及发展前景分析报告
【关键字】电子工程用高纯硅烷电子工程用高纯硅烷市场分析
【出版日期】2016年6月
【交付方式】Email电子版/特快专递
【价　　格】纸介版：9800元电子版：9800元纸介+电子：10000元
【订购电话】400-700-9383(免长话费) 010-80993936 传真：010-60343813
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报告目录：

第一章半导体、光伏产业用高纯硅烷概述16

1.1高纯硅烷简介16

1.2高纯硅烷的主要基本性能与质量指标17

1.3高纯硅烷的主要应用领域18

1.4高纯硅烷在发展我国电子工业中的重要作用19

第二章电子特种气体及其应用市场20

2.1电子特种气体概述20

2.2电子特种气体制造中的主要技术方面21

2.3电子特种气体的纯净度要求23

2.4电子特种气体产品市场竞争的焦点问题25

2.4.1对电子特种气体杂质、纯度要求的问题25

2.4.2气体配送及供应问题26

2.4.3储存、使用中的安全性问题27

2.4.4成本性问题28

2.5国内外电子特种气体行业发展概述29

2.5.1境外电子特种气体生产与市场情况29

2.5.2国内电子特种气体行业及其发展30

第三章高纯硅烷气体性能指标及制备、净化的工艺路线33

3.1高纯硅烷的性能指标33

3.2高纯硅烷工业化制备的典型工艺路线34

3.2.1制备工艺法概述34

3.2.2硅化镁合金法制备硅烷34

3.2.2.1工艺过程34

3.2.2.2主要反应36

3.2.2.3工艺特点36

3.2.2.4工艺法存在的问题37

3.2.3三氯氢硅还原法制备硅烷37

3.2.3.1工艺过程37

3.2.3.2主要反应39

3.2.3.3工艺特点39

3.2.3.4工艺法存在的问题40

3.2.4四氟化硅还原法制备硅烷41

3.2.4.1工艺过程41

3.2.4.2主要反应41

3.2.4.3工艺特点41

3.2.4.4工艺法存在的问题42

3.2.5氯硅烷歧化法制备硅烷42

3.2.5.1工艺过程42

3.2.5.2主要反应42

3.2.5.3工艺特点42

3.2.5.4工艺法存在的问题43

3.2.6烷氧基硅烷歧化法43

3.2.6.1工艺过程43

3.2.6.2主要反应44

3.2.6.3工艺特点44

3.2.6.4工艺法存在的问题44

3.3高纯硅烷气体的净化工艺路线45

3.3.1气体的净化方法概述45

3.3.2高纯硅烷的净化过程45

3.4工业高纯硅烷气体的包装及贮运46

第四章国内外高纯硅烷生产与主要企业现况47

4.1世界高纯硅烷产销、市场规模的概况47

4.2国外高纯硅烷主要生产企业产销情况47

4.3国外高纯硅烷主要生产企业简况48

4.3.1RECSilicon公司48

4.3.2Dowcorning公司51

4.3.3SODIFF新素材有限公司54

4.3.4MEMC公司57

4.3.5AirLiquid公司60

4.3.6日本电气工业公司64

4.3.7大阳日酸公司67

4.3.8EvonikIndustries公司70

4.4国内硅烷业的发展概述72

4.4.1我国高纯硅烷业发展的概述72

4.4.2我国硅烷研发、生产的历史74

4.5国内高纯硅烷生产企业现况75

4.5.1国内高纯硅烷生产企业总述75

4.5.2浙江中宁硅业有限公司75

4.5.3浙江赛林硅业有限公司81

4.5.4滁州市硅谷特种气体有限公司88

4.5.5六九硅业有限公司95

4.5.6浙江金华美晶硅电子有限公司102

4.5.7黑龙江金业电子气体股份有限公司108

4.5.8深圳市金业长健新材料股份有限公司115

第五章高纯硅烷主要应用领域的概述122

5.1高纯硅烷在集成电路中的应用122

5.1.1集成电路芯片制程122

5.1.2化学气相沉积和气体应用122

5.1.3高纯硅烷在化学气相沉积中作为气源形成的薄膜131

5.2高纯硅烷在薄膜硅太阳电池中的应用132

5.2.1非晶硅薄膜太阳能电池132

5.2.2Si薄膜的材料特性132

5.2.3非晶硅薄膜太阳能电池制作工艺及高纯硅烷其应用136

5.3高纯硅烷在液晶显示器中的应用138

5.3高纯硅烷在液晶显示器中的应用139

5.4高纯硅烷在其它领域的应用139

5.4.1在特种玻璃制造中的应用139

5.4.2在电子部件制造中的应用140

5.4.3在化合物半导体材料制造中的应用140

5.5高纯硅烷在电子信息产品中应用市场需求量的测算141

第六章高纯硅烷主要应用市场之一—集成电路产业的现况与趋势143

6.1世界半导体硅片生产与市场发展143

6.1.1世界半导体生产的现况143

6.1.2世界半导体硅片的生产状况145

6.2我国半导体晶圆生产与市场现况与发展145

6.2.1我国集成电路市场、产业发展现状145

6.2.2我国集成电路晶圆制造业情况153

第七章高纯硅烷主要应用市场之二—薄膜太阳能电池产业的现况与趋势154

7.1国内外光伏产业的发展154

7.1.1世界光伏产业的快速发展154

7.1.2我国光伏产业发展环境与现况155

7.2薄膜太阳能电池的生产与市场163

7.2.1薄膜太阳能电池特点及品种163

7.2.2薄膜太阳能电池未来市场发展前景171

7.2.3薄膜太阳能电池生产及在光伏市场上的份额变化174

7.3国内外薄膜太阳能电池的主要生产企业175

第八章高纯硅烷主要应用市场之三—液晶显示器产业的现况与趋势180

8.1世界平板显示器产业发展现况180

8.2我国平板显示器产业现况与未来发展预测181

8.2.1我国液晶显示产业发展概述181

8.2.2我国LCD面板生产现况与未来几年发展预测183

8.2.3我国发展平板显示产业的相关政策及未来发展的预测、分析185

图表目录：

图表1硅烷性能比较18

图表2气体按其特性分类图21

图表3杂质对硅低温选择性外延沉积的影响24

图表4露点与集成度的关系25

图表5微粒直径与集成度的关系25

图表6特殊气体供应流程图27

图表7硅烷的性能指标33

图表8氢化锂还原三氯氢硅制备硅烷工艺流程图38

图表92012-2016年世界高纯硅烷产销分析47

图表102012-2016年世界高纯硅烷市场规模分析47

图表112016年国外高纯硅烷主要生产企业产销情况47

图表12近4年RECSilicon公司流动资产周转次数变化情况48

图表13近4年RECSilicon公司总资产周转次数变化情况49

图表14近4年RECSilicon公司销售毛利率变化情况49

图表15近4年RECSilicon公司资产负债率变化情况49

图表16近4年RECSilicon公司产权比率变化情况50

图表17近4年RECSilicon公司固定资产周转次数情况50

图表18近4年Dowcorning公司流动资产周转次数变化情况52

图表19近4年Dowcorning公司总资产周转次数变化情况52

图表20近4年Dowcorning公司销售毛利率变化情况52

图表21近4年Dowcorning公司资产负债率变化情况53

图表22近4年Dowcorning公司产权比率变化情况53

图表23近4年Dowcorning公司固定资产周转次数情况54

图表24近4年SODIFF新素材有限公司流动资产周转次数变化情况55

图表25近4年SODIFF新素材有限公司总资产周转次数变化情况55

图表26近4年SODIFF新素材有限公司销售毛利率变化情况55

图表27近4年SODIFF新素材有限公司资产负债率变化情况56

图表28近4年SODIFF新素材有限公司产权比率变化情况56

图表29近4年SODIFF新素材有限公司固定资产周转次数情况57

图表30近4年MEMC公司流动资产周转次数变化情况58

图表31近4年MEMC公司总资产周转次数变化情况58

图表32近4年MEMC公司销售毛利率变化情况59

图表33近4年MEMC公司资产负债率变化情况59

图表34近4年MEMC公司产权比率变化情况59

图表35近4年MEMC公司固定资产周转次数情况60

图表36近4年AirLiquid公司流动资产周转次数变化情况61

图表37近4年AirLiquid公司总资产周转次数变化情况62

图表38近4年AirLiquid公司销售毛利率变化情况62

图表39近4年AirLiquid公司资产负债率变化情况63

图表40近4年AirLiquid公司产权比率变化情况63

图表41近4年AirLiquid公司固定资产周转次数情况63

图表42近4年日本电气工业公司流动资产周转次数变化情况64

图表43近4年日本电气工业公司总资产周转次数变化情况65

图表44近4年日本电气工业公司销售毛利率变化情况65

图表45近4年日本电气工业公司资产负债率变化情况65

图表46近4年日本电气工业公司产权比率变化情况66

图表47近4年日本电气工业公司固定资产周转次数情况66

图表48近4年大阳日酸公司流动资产周转次数变化情况67

图表49近4年大阳日酸公司总资产周转次数变化情况67

图表50近4年大阳日酸公司销售毛利率变化情况68

图表51近4年大阳日酸公司资产负债率变化情况68

图表52近4年大阳日酸公司产权比率变化情况69

图表53近4年大阳日酸公司固定资产周转次数情况69

图表54近4年EvonikIndustries公司流动资产周转次数变化情况70

图表55近4年EvonikIndustries公司总资产周转次数变化情况70

图表56近4年EvonikIndustries公司销售毛利率变化情况71

图表57近4年EvonikIndustries公司资产负债率变化情况71

图表58近4年EvonikIndustries公司产权比率变化情况72

图表59近4年EvonikIndustries公司固定资产周转次数情况72

图表602012-2016年国内高纯硅烷生产分析75

图表61近4年浙江中宁硅业有限公司固定资产周转次数情况76

图表62近4年浙江中宁硅业有限公司固定资产周转次数变化情况76

图表63近4年浙江中宁硅业有限公司流动资产周转次数变化情况76

图表64近4年浙江中宁硅业有限公司流动资产周转次数变化情况77

图表65近4年浙江中宁硅业有限公司销售毛利率变化情况77

图表66近4年浙江中宁硅业有限公司销售毛利率变化情况78

图表67近4年浙江中宁硅业有限公司资产负债率变化情况78

图表68近4年浙江中宁硅业有限公司资产负债率变化情况79

图表69近4年浙江中宁硅业有限公司产权比率变化情况79

图表70近4年浙江中宁硅业有限公司产权比率变化情况79

图表71近4年浙江中宁硅业有限公司总资产周转次数变化情况80

图表72近4年浙江中宁硅业有限公司总资产周转次数变化情况80

图表73近4年浙江赛林硅业有限公司固定资产周转次数情况82

图表74近4年浙江赛林硅业有限公司固定资产周转次数变化情况82

图表75近4年浙江赛林硅业有限公司流动资产周转次数变化情况83

图表76近4年浙江赛林硅业有限公司流动资产周转次数变化情况83

图表77近4年浙江赛林硅业有限公司销售毛利率变化情况84

图表78近4年浙江赛林硅业有限公司销售毛利率变化情况84

图表79近4年浙江赛林硅业有限公司资产负债率变化情况85

图表80近4年浙江赛林硅业有限公司资产负债率变化情况85

图表81近4年浙江赛林硅业有限公司产权比率变化情况86

图表82近4年浙江赛林硅业有限公司产权比率变化情况86

图表83近4年浙江赛林硅业有限公司总资产周转次数变化情况87

图表84近4年浙江赛林硅业有限公司总资产周转次数变化情况87

图表85近4年滁州市硅谷特种气体有限公司固定资产周转次数情况89

图表86近4年滁州市硅谷特种气体有限公司固定资产周转次数变化情况89

图表87近4年滁州市硅谷特种气体有限公司流动资产周转次数变化情况90

图表88近4年滁州市硅谷特种气体有限公司流动资产周转次数变化情况90

图表89近4年滁州市硅谷特种气体有限公司销售毛利率变化情况91

图表90近4年滁州市硅谷特种气体有限公司销售毛利率变化情况91

图表91近4年滁州市硅谷特种气体有限公司资产负债率变化情况92

图表92近4年滁州市硅谷特种气体有限公司资产负债率变化情况92

图表93近4年滁州市硅谷特种气体有限公司产权比率变化情况93

图表94近4年滁州市硅谷特种气体有限公司产权比率变化情况93

图表95近4年滁州市硅谷特种气体有限公司总资产周转次数变化情况94

图表96近4年滁州市硅谷特种气体有限公司总资产周转次数变化情况94

图表97近4年六九硅业有限公司固定资产周转次数情况96

图表98近4年六九硅业有限公司固定资产周转次数情况96

图表99近4年六九硅业有限公司流动资产周转次数变化情况97

图表100近4年六九硅业有限公司流动资产周转次数变化情况97

图表101近4年六九硅业有限公司销售毛利率变化情况98

图表102近4年六九硅业有限公司销售毛利率变化情况98

图表103近4年六九硅业有限公司资产负债率变化情况99

图表104近4年六九硅业有限公司资产负债率变化情况99

图表105近4年六九硅业有限公司产权比率变化情况100

图表106近4年六九硅业有限公司产权比率变化情况100

图表107近4年六九硅业有限公司总资产周转次数变化情况101

图表108近4年六九硅业有限公司总资产周转次数变化情况101

图表109近4年浙江金华美晶硅电子有限公司固定资产周转次数情况102

图表110近4年浙江金华美晶硅电子有限公司固定资产周转次数情况103

图表111近4年浙江金华美晶硅电子有限公司流动资产周转次数变化情况103

图表112近4年浙江金华美晶硅电子有限公司流动资产周转次数变化情况103

图表113近4年浙江金华美晶硅电子有限公司销售毛利率变化情况104

图表114近4年浙江金华美晶硅电子有限公司销售毛利率变化情况104

图表115近4年浙江金华美晶硅电子有限公司资产负债率变化情况105

图表116近4年浙江金华美晶硅电子有限公司资产负债率变化情况105

图表117近4年浙江金华美晶硅电子有限公司产权比率变化情况106

图表118近4年浙江金华美晶硅电子有限公司产权比率变化情况106

图表119近4年浙江金华美晶硅电子有限公司总资产周转次数变化情况107

图表120近4年浙江金华美晶硅电子有限公司总资产周转次数变化情况107

图表121近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司固定资产周转次数情况109

图表122近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司固定资产周转次数情况109

图表123近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司流动资产周转次数变化情况110

图表124近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司流动资产周转次数变化情况110

图表125近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司销售毛利率变化情况111

图表126近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司销售毛利率变化情况111

图表127近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司资产负债率变化情况112

图表128近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司资产负债率变化情况112

图表129近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司产权比率变化情况113

图表130近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司产权比率变化情况113

图表131近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司总资产周转次数变化情况114

图表132近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司总资产周转次数变化情况114

图表133近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司固定资产周转次数情况116

图表134近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司固定资产周转次数情况116

图表135近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司流动资产周转次数变化情况116

图表136近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司流动资产周转次数变化情况117

图表137近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司销售毛利率变化情况117

图表138近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司销售毛利率变化情况118

图表139近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司资产负债率变化情况118

图表140近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司资产负债率变化情况119

图表141近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司产权比率变化情况119

图表142近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司产权比率变化情况119

图表143近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司总资产周转次数变化情况120

图表144近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司总资产周转次数变化情况120

图表145TiC涂层的模型123

图表146CVD法的反应类型和所沉积材料125

图表147CVD采用的加热方式126

图表148开口体系CVD设备示意图126

图表149几种开口体系的反应器示意图127

图表150制备ZnSe单晶设备示意图128

图表151非晶硅太阳能电池结构图132

图表152非晶硅柔性太阳能电池133

图表153大面积集成型叠层太阳能电池135

图表154子电池示意图135

图表155非晶硅太阳电池的制备流程136

图表1562016-2022年我国高纯硅烷在电子信息产品中应用市场需求量的测算141

图表1572015-2016年全球半导体材料销售分析143

图表1582012-2016年全球半导体材料销售分析145

图表1592012-2016年世界半导体硅片出货量分析145

图表1602009-2016年我国集成电路行业增长情况146

图表1612016年我国集成电路出口情况147

图表1622016年集成电路产业内销产值增长情况147

图表1632009-2016年我国集成电路固定资产投资增长情况148

图表1642016年我国集成电路行业经济效益增长情况148

图表1652012-2016年我国集成电路晶圆制造业发展规模分析153

图表166不同薄膜太阳能电池研究应用水平164

图表167现有各种太阳能电池比较171

图表168中国大陆高世代面板线产能分布184

图表169中国大陆待投产高世代面板线184

图表170国家新型显示产业政策186

图表171各省市新型显示产业政策187

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